ピラニ真空計

HVG-PR

HVG-PR 真空計 真空ゲージ Teledyne Hastings Instruments

コンパクト設計で高精度な真空測定を実現

HVG-PR真空計は、大気圧から0.1 mTorr（1.3 x 10⁻⁴ mbar / 1.3 x 10⁻² Pa）までの圧力を測定します。実績ある広範囲真空計「HVG-2020B」と同様の高精度ピラニセンサーを採用しつつ、コンパクトかつコスト効率に優れた設計を実現しました。OEM、システムインテグレーション、プロセス自動化に最適な製品です。さらにOEM向けカスタム設計も対応可能

HVG-PRには、KF-16フランジまたは1/8インチMNPTという2種類の接続仕様が用意されています。いずれのモデルも、OEMシステムやプロセス自動化への組み込みが容易な対数アナログ出力信号として、「1 V/decade（2～9 VDC）」または「1.286 V/decade（1.16～10.1620 V）」の2種類から選択可能です。さらに、全モデルにRS485デジタル通信機能が標準搭載されています。電源、アナログ出力、デジタル通信は、単一のRJ45コネクタを介して接続されます。上面パネルのステータスLEDが点滅するため、一目見るだけで圧力のおおよその状態を確認できます。

用途と産業

  • 分析機器
    フォアライン監視
    ガラスコーティング
    薄膜形成
    半導体
    凍結乾燥
    真空炉・熱処理
    HVAC・製氷機
    オイル再生

おもな仕様

測定精度 1​​​

 0.001 Torr to 100 Torr:        ± 15% of Rdg

100 Torr to 1,000 Torr:        ± 50% of Rdg

0.0001 Torr to 0.001 Torr:  ± (50% of Rdg + 0.0001 Torr)​​
​最大圧力 ​2,000 Torr / 25 psig  (性能に変化無し)
稼働温度​ ​-20° to 70°C
暖機時間 2 ​15 minutes (通常時)
1 hour (ゼロ点調整時)
​アナログ出力 ​1 V/decade (1 to 9 VDC) logarithmic (Default)
1.286 V/decade (1.16 to 10.1620 VDC) logarithmic​
​接気部材質 ​304SS, 316SS, Gold Plated Tungsten, Nickel, Glass
​接続部形状 ​RJ-45 Female
​稼働電圧 ​12 to 36 VDC
​消費電力 ​0.41 watts max. (12 to 36 VDC); 0.36 W typ. @ 24 VDC
​CE 認証 ​EN55011, EN61326
​KC 認証 KSC9811, KSC9610
​RoHS​ 準拠 ​有

１　　2時間の暖機およびゼロ点調整後、温度・湿度の影響を受けない窒素常温動作条件下にて

２　　定格精度の範囲内において

THCD-101 コントローラー

イーサネットポート採用・シングルチャネル制御

THCD-101は多機能のプロセスディスプレイコントローラーで、HVG-2020真空トランスデューサーなどの別のプロセストランスデューサーに直接接続できます。

THCD-101は、バイポーラ（±15Vdc @ 300mA）またはユニポーラ（24Vdc @ 400mA）デバイスへの電力供給に使用できるシングルチャネルユニットです。最大10 VDCまたは4〜20 mAの電流信号を提供するトランスデューサからの出力を表示できます。外部コマンド（セットポイント）制御（+ 10V）に使用できる入力もあります。

質量流量計、マスフローコントローラー、静電容量圧力計を含む真空計、および線形圧力トランスデューサーを操作できます。使いやすいフロントパネルのメニューインターフェイスをナビゲートします。

THCD-401 コントローラー

4チャネル制御と多彩な I/O ポート

THCD-401は、柔軟で、多くのプロセスでの使用に適応できるように設計された、多機能のプロセスディスプレイコントローラーです。

最大4つのメインチャンネルに対応しています。流量コントローラーの操作や圧力トランスデューサーからの出力の表示に使用できます。これらのデバイスに±15 VDCまたは+24 VDCのいずれかで電力を供給することもできます。

インターフェースには、イーサネット、RS232（USB経由）、またはアナログ信号だけで使用できます。関連する単位でプロセス変数を表示できるグラフィカルLCDディスプレイを備えています。エンジニアリングユニットはすべて、フリーテキスト入力で対応できます。 ディスプレイはまた、設定のための使いやすいメニュー構造を可能にします。